微型探针冷热台采用液氮致冷、电阻加热的方式，实现样品台-190~600℃范围内精准控制，可与电学仪表（如源表、万用表等）搭配集成，进行变温原位测试。客户群体：高校实验室、科研院所、半导体实验室等。
设备安装与连接：
将微型探针冷热台平稳安装于光学显微镜或SEM载物台，调整水平以避免物镜碰撞。
连接温控器、液氮软管（如适用）、循环水冷机及电源线，确保所有接口牢固。
使用网线或USB线将控制单元与电脑连接，并启动配套控温软件。
环境设置与校准：
若需真空或惰性气体保护，先关闭腔体，启动真空泵抽至目标真空度（≤10⁻³Pa），或通入高纯氮气置换空气。
在软件中进行温度校准，确保热电偶读数与实际温度一致，避免测量偏差。
样品准备与探针调节：
样品尺寸应适配台面中心区域（通常φ6-26mm），厚度不超过1mm，表面清洁无污染。
使用镊子将样品置于台心，若为电学测试，确保与四个电极良好接触，必要时使用导电胶辅助固定。
通过显微镜定位待测点，调节X/Y/Z微调旋钮将探针缓慢下压至样品焊盘，观察电信号通断状态确认接触良好。
温度程序设定与运行：
在控制软件中创建温控程序，典型结构包括：
初始段：设定起始温度（如室温）并平衡5-10分钟；
ramp段：设置升降温速率（建议≤10℃/min）至目标温度；
hold段：保温一段时间用于数据采集；
可设置多循环段模拟热老化或相变过程。
启动程序前确认制冷系统（液氮/压缩机制冷）已就绪，水冷机正常运行。
实验监测与数据采集：
实时监控温度曲线、电信号稳定性及显微图像变化。
外部设备（如源表、万用表、相机）应与温控软件时间同步，或由其触发记录，确保数据对齐。
遇异常波动时暂停程序，检查探针接触、温度漂移或环境干扰。
